東京応化工業(tok)は、半導体や液晶ディスプレイの製造に必要なフォトレジストなどの化学薬品、製造装置を提供している会社です。

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環境活動

CSR情報

リサイクルの推進、化学物質の安全管理、省エネルギーに向けた
取り組みなど、当社の環境方針に基づく活動をご紹介します。

環境に配慮した製品

長年にわたり培ってきた独自の技術を生かした製品で環境保全に貢献しています。

ブラックレジスト

液晶ディスプレイのカラー表示に不可欠なカラーフィルターと呼ばれる部材は、光の3原色である赤・緑・青にブラックマトリクス※と呼ばれる黒色を加えた4色で構成されています。このうちブラックマトリクスは、従来Cr(クロム)を使って形成されていましたが、環境への配慮から、クロムに替わって黒色のフォトレジスト(ブラックレジスト)を用いるようになってきています。

当社では、このブラックレジストを戦略製品の一つに位置づけ、製品開発に取り組んでいます。

カラーフィルター概略図

※ブラックマトリクスとは、赤(R)・緑(G)・青(B)の3色を囲む格子状の黒部分のことで、画像のコントラストを向上させます。

スピンレス®※

液晶ガラス基板にフォトレジストを塗布する際、従来は中央にフォトレジストを滴下したガラス基板を高速回転させ、遠心力でフォトレジストを均一に塗布するSpin法という方法が用いられていました。しかし、この方法では、フォトレジストの多くが飛散してロスが生じるほか、回転(Spin)させる際の電力消費量が大きいという問題点がありました。また、液晶ガラス基板の大型化に伴って、Spin法での対応が難しくなっていました。

そこで、当社はSpin法ではなく、スリット状ノズルをガラス基板上で水平移動させながらフォトレジストを吐出塗布するNon-spin 法を採用した「スピンレス®」を開発しました。これにより必要な部分にだけフォトレジストを塗布することが可能になり、たとえば第5世代の液晶ガラス基板(縦1,100mm×横1,250mm)にフォトレジストを塗布する場合、フォトレジスト使用量を従来比60%以上、洗浄液やリンス液などの使用量を90%まで削減でき、さらに、電力消費量を大幅に削減することも可能になりました。

※スピンレス® :日本国登録商標第4,731,631号

Non-spin法を採用した塗布装置「TR130000 S」(第8世代向け「スピンレス®」)

Non-spin法を採用した塗布装置「TR130000 S」(第8世代向け「スピンレス®」)

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