当社のコア・テクノロジーであるフォトリソグラフィ技術。ICやLSIなどの半導体、液晶ディスプレイなどに利用されています。
フォトリソグラフィ技術
エレクトロニクス分野をリードする微細加工技術でお客様にソリューションをご提案します。
さまざまなプロセスや用途、ニーズに豊富な製造用材料・装置のラインナップでお応えします。
微細化の物理的限界に新しい方向性を提示するとともに生産効率に優れた新たな半導体製造技術をご提案。
蓄積された材料技術と高い均一精度のコーティング技術の相乗効果により高精細化と経済性の両立を実現。
新たなフィールドに高付加価値の製品を提供しています。
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