TMMF®/TMMR®

ライフサイエンス関連材料感光性永久膜、感光性接着材料

高解像、高密着性、高アスペクトのパターン形成が可能なMEMS構造形成材料
フィルムタイプと液状タイプをラインナップ
フォトリソグラフィによるパターニングと基板接合が一つの材料で可能

特長

  • 高解像/高密着性/高アスペクトのパターン形成が可能なネガ型感光性永久膜
  • 液タイプ(TMMR® S2000)とフィルムタイプ(TMMF® S2000)の2仕様を用意、組み合わせにより中空構造を形成可能
  • 従来の犠牲膜法と比較し大幅な工程簡素化が可能。
  • 極めて低い細胞毒性※
  • ウエハレベルでのマイクロ流路の製造が可能な感光性接着材料
  • フォトリソグラフィーによりパターン形成可能な感光性永久膜材料
  • 接着性能を付与。パターン形成後、熱圧着により基材の接合が可能
  • 低自家蛍光, 極めて低い細胞毒性※

※ISO10993-5に準拠  IC50 (50%阻害濃度): >100%

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中空構造形成

  • TMMF® S2000 シリーズ:フィルムタイプ
  • TMMR® S2000 シリーズ:液状タイプ

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想定用途

  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
  • バイオチップ(μTAS、Lab on a chip などのマイクロ流体デバイス)

硬化膜物性 ・ 薬液耐性

硬化膜物性
物性 測定方法 TMMF®S2000 & TMMR®S2000
ガラス転移温度 (℃) DMA 230
熱膨張率 (ppm/℃) TMA 65
破断強度 (MPa) Tensile 60.3
破断伸度 (%) 4.4
引張弾性率 (GPa) 2.1
5%重量減少温度 (℃) TG/DTA 320
ビッカース硬度 (HV) Push-In 28.1
マルテンス硬度 (N/㎟ ) 199
弾性率(GPa) 3.8
吸水率 (%) 23℃-24 h dipping 1.8
透過率 (%) 500 nm UV 93
600 nm 95
700 nm 98
800 nm 99
熱硬化後薬液耐性
カテゴリ 薬液種 浸漬条件 結果
溶剤 NMP 80 ℃-15 min 変化なし
GBL 80 ℃-15 min 変化なし
EL 23 ℃-15 min 変化なし
Acetone 23 ℃-15 min 変化なし
PGMEA 23 ℃-15 min 変化なし
IPA 23 ℃-15 min 変化なし
DMSO 80 ℃-15 min 変化なし
アルカリ水溶液 25% NaOH 40 ℃-10 min 変化なし
10% KOH 40 ℃-10 min 変化なし
TMAH 2.38% 40 ℃-10 min 変化なし
酸水溶液 H2SO4/H2O2 40 ℃-10 min 変化なし
1% HF 23 ℃-5 min 変化なし
硬化膜物性
物性 測定方法 感光性接着材料
ガラス転移温度 (℃) DMA 97
熱膨張率 (ppm/℃) TMA 63
破断強度 (MPa) Tensile 39.8
破断伸度 (%) 5.5
引張弾性率 (GPa) 1.67
5%重量減少温度 (℃) TG/DTA 399
透過率 (%) 400 nm UV 84.7
500 nm 99.1
600 nm 99.2
700 nm 99.2
熱硬化後薬液耐性
カテゴリ 薬液種 浸漬条件 結果
溶剤 NMP 23 ℃-15 min 変化なし
GBL 23 ℃-15 min 変化なし
EL 23 ℃-15 min 変化なし
Acetone 23 ℃-15 min 変化なし
PGMEA 23 ℃-15 min 変化なし
IPA 23 ℃-15 min 変化なし
DMSO 80 ℃-15 min 変化なし
アルカリ水溶液 5% KOH 40 ℃-10 min 変化なし
TMAH 2.38% 40 ℃-10 min 変化なし
酸水溶液 1% HF 23 ℃-5 min 変化なし

事例紹介

High-resolution permanent photoresist laminate for microsystem applications, J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 7 (3), 2008, 033009-1-6
Dry Film Resist Microfluidic Channels on Printed Circuit Board and its Application as Fluidic Interconnection for Nanofluidic Chips: Fabrication Challenges, ICQNM 2011 : The Fifth International Conference on Quantum, Nano and Micro Technologies, 71-76
High-resolution permanent photoresist laminate TMMF for sealed microfluidic structures in biological applications, J. Micromech. Microeng, 21(2011), 1-9
HYBRID FABRICATION OF MICROFLUIDIC CHIPS BASED ON COC, SILICON AND TMMF DRY RESIST, Tech Dig IEEE Micro Electro Mech Syst, 23rd Vol.1, 2010, 400-403
Lab-on-a-Foil: microfluidics on thin and flexible films, Lab Chip, 2010, 10, 1365-1386
Low-Cost Technology for the Integration of Micro- and Nanochips into Fluidic Systems on Printed Circuit Board: Fabrication Challenges, International Journal on Advances in Systems and Measurements, vol 5 no 1 & 2, 2012, 11-21
Picoliter Droplet Dispenser with Integrated Impedance Detector for Single-cell Printing, ACTUATOR 2012, 13th International Conference on New Actuators, 18-20 June 2012, 418-421

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