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新規事業分野

製品情報

東京応化工業(TOK)は「Challenge to the Future ! 」のスローガンのもと、営業部門と技術部門とを一体化した「新事業開発本部」を設置しております。
TOKがリソグラフィ技術を用いた微細加工技術で培った高分子設計/製造技術や超高純度化技術をコア技術として、顧客および外部機関との提携などを通じ、イノベーションを加速させることで、ユニークかつ高付加価値な材料をご提案します。

感光性構造形成材料 TMMF®/TMMR®

高解像・高アスペクトMEMS構造材料

Film thickness 130mm(10mm Dot, L/S)

特長

  • 高解像/高密着性/高アスペクトのパターン形成が可能なネガ型感光性永久膜
  • 液タイプ(TMMR® S2000)とフィルムタイプ(TMMF® S2000)の2仕様を用意
    組み合わせにより中空構造を形成可能
  • 従来の犠牲膜法と比較し大幅な工程簡素化が可能。
  • 極めて低い細胞毒性※

※ISO10993-5に準拠  IC50 (50%阻害濃度): >100%

中空構造形成

  • TMMF® S2000 シリーズ:フィルムタイプ
  • TMMR® S2000 シリーズ:液状タイプ
TMMF_J_ver2

想定用途

  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
  • バイオチップ(μTAS、Lab on a chip などのマイクロ流体デバイス)

硬化膜物性 ・ 薬液耐性

硬化膜物性
物性測定方法TMMF®S2000 & TMMR®S2000
ガラス転移温度 (℃)DMA230
熱膨張率 (ppm/℃)TMA65
破断強度 (MPa)Tensile60.3
破断伸度 (%)4.4
引張弾性率 (GPa)2.1
5%重量減少温度 (℃)TG/DTA320
ビッカース硬度 (HV)Push-In28.1
マルテンス硬度 (N/㎟ )199
弾性率(GPa)3.8
吸水率 (%)23℃-24 h dipping1.8
透過率 (%)500 nmUV93
600 nm95
700 nm98
800 nm99
熱硬化後薬液耐性
カテゴリ薬液種浸漬条件結果
溶剤NMP80 ℃-15 min変化なし
GBL80 ℃-15 min変化なし
EL23 ℃-15 min変化なし
Acetone23 ℃-15 min変化なし
PGMEA23 ℃-15 min変化なし
IPA23 ℃-15 min変化なし
DMSO80 ℃-15 min変化なし
アルカリ水溶液25% NaOH40 ℃-10 min変化なし
10% KOH40 ℃-10 min変化なし
TMAH 2.38%40 ℃-10 min変化なし
酸水溶液H2SO4/H2O240 ℃-10 min変化なし
1% HF23 ℃-5 min変化なし

事例紹介

High-resolution permanent photoresist laminate for microsystem applications, J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 7 (3), 2008, 033009-1-6
Dry Film Resist Microfluidic Channels on Printed Circuit Board and its Application as Fluidic Interconnection for Nanofluidic Chips: Fabrication Challenges, ICQNM 2011 : The Fifth International Conference on Quantum, Nano and Micro Technologies, 71-76
High-resolution permanent photoresist laminate TMMF for sealed microfluidic structures in biological applications, J. Micromech. Microeng, 21(2011), 1-9
HYBRID FABRICATION OF MICROFLUIDIC CHIPS BASED ON COC, SILICON AND TMMF DRY RESIST, Tech Dig IEEE Micro Electro Mech Syst, 23rd Vol.1, 2010, 400-403
Lab-on-a-Foil: microfluidics on thin and flexible films, Lab Chip, 2010, 10, 1365-1386
Low-Cost Technology for the Integration of Micro- and Nanochips into Fluidic Systems on Printed Circuit Board: Fabrication Challenges, International Journal on Advances in Systems and Measurements, vol 5 no 1 & 2, 2012, 11-21
Picoliter Droplet Dispenser with Integrated Impedance Detector for Single-cell Printing, ACTUATOR 2012, 13th International Conference on New Actuators, 18-20 June 2012, 418-421

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