東京応化工業(tok)は、半導体や液晶ディスプレイの製造に必要なフォトレジストなどの化学薬品、製造装置を提供している会社です。

装置

半導体製造分野

製品情報

ICやLSIなどの半導体の微細化に、フォトレジストやフォト

リソグラフィ関連材料・装置による多元的なアプローチで応えます。

多種多様な半導体デバイスにお応えするために、マイクロメートルから最先端のナノメートル領域まで、各種デバイス製造に最適なフォトレジストや関連装置を提供。

塗布装置

現像装置

  • CSHシリーズ
    現像装置 CSHシリーズ

    現像温度コントロール方式と積層型現像カップ方式の採用により、厚膜プロセスの課題とされる現像時間の短縮を実現します。

    • 100/125/150/200mm ウエハ対応

真空UVハードニング装置 

  • TVC-8000シリーズ
    真空UVハードニング装置 TVC-8000シリーズ

    耐熱性/エッチング特性/めっき耐性の向上を実現した真空UVハードニング装置です。

    • 100/125/150/200 mmウエハ対応

薬液供給装置