東京応化工業(tok)は、半導体や液晶ディスプレイの製造に必要なフォトレジストなどの化学薬品、製造装置を提供している会社です。

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新規事業分野

製品情報

東京応化工業(TOK)は「Challenge to the Future ! 」のスローガンのもと、営業部門と技術部門とを一体化した「新事業開発本部」を設置しております。
TOKがリソグラフィ技術を用いた微細加工技術で培った高分子設計/製造技術や超高純度化技術をコア技術として、顧客および外部機関との提携などを通じ、イノベーションを加速させることで、ユニークかつ高付加価値な材料をご提案します。

感光性接着材料

構造形成と基板接合が一つの材料で可能

感光性接着材料

特長

  • ウエハレベルでのマイクロ流路の製造が可能な感光性接着材料
  • フォトリソグラフィーによりパターン形成可能な感光性永久膜材料
  • 接着性能を付与。パターン形成後、熱圧着により基材の接合が可能
  • 低自家蛍光, 極めて低い細胞毒性※

 ※ISO10993-5に準拠  IC50 (50%阻害濃度): >100%

感光性接着材料_図

想定用途

・MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
・バイオチップ(μTAS、Lab on a chip などのマイクロ流体デバイス)

硬化膜物性 ・ 薬液耐性

硬化膜物性
物性測定方法感光性接着材料
ガラス転移温度 (℃)DMA220
熱膨張率 (ppm/℃)TMA45
破断強度 (MPa)Tensile103
破断伸度 (%)15.0
引張弾性率 (GPa)0.7
5%重量減少温度 (℃)TG/DTA295
吸水率 (%)23 ℃-24 h dipping1.2
透過率 (%)400 nmUV54.5
500 nm92.0
600 nm98.5
700 nm99.2
熱硬化後薬液耐性
カテゴリ薬液種浸漬条件結果
溶剤NMP80 ℃-15 min変化なし
GBL80 ℃-15 min変化なし
EL23 ℃-15 min変化なし
Acetone23 ℃-15 min変化なし
PGMEA23 ℃-15 min変化なし
IPA23 ℃-15 min変化なし
DMSO80 ℃-15 min変化なし
アルカリ水溶液25% NaOH40 ℃-10 min変化なし
10% KOH40 ℃-10 min変化なし
TMAH 2.38%40 ℃-10 min変化なし
酸水溶液H2SO4/H2O240 ℃-10 min変化なし
1% HF23 ℃-5 min変化なし

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