感光性接着材料

新規事業分野

東京応化工業(TOK)は「Challenge to the Future ! 」のスローガンのもと、営業部門と技術部門とを一体化した「新事業開発本部」を設置しております。
TOKがリソグラフィ技術を用いた微細加工技術で培った高分子設計/製造技術や超高純度化技術をコア技術として、顧客および外部機関との提携などを通じ、イノベーションを加速させることで、ユニークかつ高付加価値な材料をご提案します。

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構造形成と基板接合が一つの材料で可能

特長

ウエハレベルでのマイクロ流路の製造が可能な感光性接着材料
フォトリソグラフィーによりパターン形成可能な感光性永久膜材料
接着性能を付与。パターン形成後、熱圧着により基材の接合が可能
低自家蛍光, 極めて低い細胞毒性※

　※ISO10993-5に準拠 IC50 (50%阻害濃度): >100%

想定用途

・MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）
・バイオチップ（μTAS、Lab on a chip などのマイクロ流体デバイス）

硬化膜物性・薬液耐性

硬化膜物性

物性		測定方法	感光性接着材料
ガラス転移温度（℃）		DMA	220
熱膨張率（ppm/℃）		TMA	45
破断強度（MPa）		Tensile	103
破断伸度（%）			15.0
引張弾性率（GPa）			0.7
5%重量減少温度（℃）		TG/DTA	295
吸水率（%）		23 ℃-24 h dipping	1.2
透過率（%）	400 nm	UV	54.5
	500 nm		92.0
	600 nm		98.5
	700 nm		99.2

熱硬化後薬液耐性

カテゴリ	薬液種	浸漬条件	結果
溶剤	NMP	80 ℃-15 min	変化なし
	GBL	80 ℃-15 min	変化なし
	EL	23 ℃-15 min	変化なし
	Acetone	23 ℃-15 min	変化なし
	PGMEA	23 ℃-15 min	変化なし
	IPA	23 ℃-15 min	変化なし
	DMSO	80 ℃-15 min	変化なし
アルカリ水溶液	25% NaOH	40 ℃-10 min	変化なし
	10% KOH	40 ℃-10 min	変化なし
	TMAH 2.38%	40 ℃-10 min	変化なし
酸水溶液	H₂SO₄/H₂O₂	40 ℃-10 min	変化なし
酸水溶液	1% HF	23 ℃-5 min	変化なし

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