新規事業分野

東京応化工業(TOK)は「Challenge to the Future ! 」のスローガンのもと、営業部門と技術部門とを一体化した「新事業開発本部」を設置しております。
TOKがリソグラフィ技術を用いた微細加工技術で培った高分子設計/製造技術や超高純度化技術をコア技術として、顧客および外部機関との提携などを通じ、イノベーションを加速させることで、ユニークかつ高付加価値な材料をご提案します。
感光性接着材料
構造形成と基板接合が一つの材料で可能

特長
- ウエハレベルでのマイクロ流路の製造が可能な感光性接着材料
- フォトリソグラフィーによりパターン形成可能な感光性永久膜材料
- 接着性能を付与。パターン形成後、熱圧着により基材の接合が可能
- 低自家蛍光, 極めて低い細胞毒性※
※ISO10993-5に準拠 IC50 (50%阻害濃度): >100%

想定用途
・MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
・バイオチップ(μTAS、Lab on a chip などのマイクロ流体デバイス)
硬化膜物性 ・ 薬液耐性
硬化膜物性
物性 | 測定方法 | 感光性接着材料 | |
---|---|---|---|
ガラス転移温度 (℃) | DMA | 97 | |
熱膨張率 (ppm/℃) | TMA | 63 | |
破断強度 (MPa) | Tensile | 39.8 | |
破断伸度 (%) | 5.5 | ||
引張弾性率 (GPa) | 1.67 | ||
5%重量減少温度 (℃) | TG/DTA | 399 | |
透過率 (%) | 400 nm | UV | 84.7 |
500 nm | 99.1 | ||
600 nm | 99.2 | ||
700 nm | 99.2 |
熱硬化後薬液耐性
カテゴリ | 薬液種 | 浸漬条件 | 結果 |
---|---|---|---|
溶剤 | NMP | 23 ℃-15 min | 変化なし |
GBL | 23 ℃-15 min | 変化なし | |
EL | 23 ℃-15 min | 変化なし | |
Acetone | 23 ℃-15 min | 変化なし | |
PGMEA | 23 ℃-15 min | 変化なし | |
IPA | 23 ℃-15 min | 変化なし | |
DMSO | 80 ℃-15 min | 変化なし | |
アルカリ水溶液 | 5% KOH | 40 ℃-10 min | 変化なし |
TMAH 2.38% | 40 ℃-10 min | 変化なし | |
酸水溶液 | 1% HF | 23 ℃-5 min | 変化なし |
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