Non-spinコーター「スピンレス®」は、大型基板への対応が容易な構造であり、かつ要求される高精度の塗布を実現しました。また同時に、洗浄液やリンス液などの使用量やユーティリティコストの大幅な削減が可能なため、環境にやさしく、製造コストの削減にも大きく貢献します。
	フォトレジスト使用量を60％以上削減しました。 （従来のコーター「Coat＆Spin®」との比較）
	※当社比	(注) 塗布膜厚および使用材料により使用量は増減します。
	ユニット数の減少により、フットプリントが従来に比べ、40％縮小しました。

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