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「スピンレス」を用いた塗布

Non-spinコーター「スピンレス®」は、高精度なスリットノズルをスキャンさせることによりフォトレジストの塗布を行います。

　
　
Spinless
(1)塗布ユニット(2)減圧乾燥ユニット 「スピンレス」－基板を投入→(1)フォトレジストを塗布(2)減圧下、ある程度乾燥→露光工程へ
(1)塗布ユニット(2)減圧乾燥ユニット

Coat＆Spin
(1)塗布ユニット(2)回転カップユニット(3)減圧乾燥ユニット(4)E.B.R.ユニット 「Coat＆Spin」－基板を投入→(1)フォトレジストを塗布(2)回転させてフォトレジスト膜を均一化(3)減圧下、ある程度乾燥(4)基板エッジのフォトレジストを除去→露光工程へ
(1)塗布ユニット(2)回転カップユニット(3)減圧乾燥ユニット(4)E.B.R.ユニット

■ 量産機の開発は、タツモ株式会社と共同で行っております。
※ 上記の塗布プロセスは簡略化されております。
※ E.B.R.=Edge Bead Remover