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テレビやパソコンで使用されている液晶ディスプレイの大型化にともない、液晶ガラス基板の大型化もすすんでいます。しかしながら、基板を高速回転させて塗布を行うSpin法では、大型のガラス基板を回転させることの技術的障壁が高くなっているため、構造的、物理的に大型化への対応が困難になりつつあると考えられています。 これまで当社は、「Coat & Spin®」(注) など数々の塗布装置を開発し、これらはデファクトスタンダードとなって液晶ディスプレイ産業の発展に貢献してきました。一方、この際に培った豊富なノウハウを基に、さらなる基板の大型化へ対応するために鋭意研究を重ねた結果、Non-spin法を開発し、コーター「スピンレス®」を上市しました。第５・第６・第７世代に引き続き、この技術を用いて第８世代対応の開発をすすめています。  |
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