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メカニズム
加熱処理によるSAFIER®の熱収縮作用を利用し、
パターンの縮小と形状の改善を同時に実現。
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| フォトレジストの流動温度以下で、加熱処理。 |
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加熱処理の結果、SAFIER®の熱収縮作用により、フォトレジストの側壁が互いに引き寄せられ、パターンが縮小化する。 |
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フォトレジストパターン縮小後、純水でSAFIER®を除去。 |
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| For KrF |
For ArF |
For EB |
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Initial |
After Removal of SAFIER |
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Initial |
After Removal of SAFIER |
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Initial |
After Removal of SAFIER
3 times treatments |
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