プロセスフロー
簡単なプロセスで良好な微細パターンを形成します。
従来の生産ラインに適用が可能で、大規模な投資は不要です。
1．
フォトレジストを塗布
2．
フォトレジストパターンを形成
3．
SAFIER
®
を塗布
4．
加熱処理
5．
SAFIER
®
を除去
