SAFIER® 半導体デバイスの高集積化や高速化に伴い、トランジスタや配線の微細化が急速に進んでいます。SAFIER®は、世代間の限界を越えた画期的な超解像技術であり、既存の光源を延命化しつつ、新たな微細化を切り拓く、新しい発想のプロセス技術です。 SPINLESS® 当社が開発したコーター「スピンレス®」は、独自考案のNon-spin法を採用。大型液晶ガラス基板に対し、高精度なフォトレジスト塗布が可能となり、従来のSpin法では対応が困難になりつつある第5世代以降の液晶ガラス基板の大型化への道を拓きました。 ナノインプリント用材料 新たな微細加工技術の一つとして実用化研究の進むナノインプリント。当社は、半導体デバイス製造用材料で培った技術を基に、室温ナノインプリントにソリューションをご提供します。

• 
•