東京応化工業(tok)は、半導体や液晶ディスプレイの製造に必要なフォトレジストなどの化学薬品、製造装置を提供している会社です。

CSHシリーズ

半導体製造分野

製品情報

ICやLSIなどの半導体の微細化に、フォトレジストやフォト

リソグラフィ関連材料・装置による多元的なアプローチで応えます。

CSHシリーズ 現像装置

概要

現像装置 CSHシリーズ

生産効率に優れた全自動枚葉式の現像装置
100 / 125 / 150 / 200mm ウェハ対応

特長

低コスト、研究向けから量産まで幅広く対応、特に厚膜プロセスで力を発揮

仕様

ウェハサイズ:100 / 125 / 150 / 200mm 異サイズウェハ兼用

プロセスユニット

ユニカセット2ヶ所
現像カップMax3,000min-1
ベークMax250℃
クール 

寸法:W1,800 × D1,800 × H1,950 (mm) 

CSH寸法

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