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すでにインクジェットプリンターのノズル、ハードディスクドライブの磁気ヘッド、加速度センサーなどのセンサー類で実用化されているMEMS(微小電気機械システム)は、自動車部品、電子部品、医療機器などの分野でも応用が進められています。 MEMSの多くは、半導体製造分野の技術が応用されていますが、その製造用材料・装置には、半導体と異なったニーズも多く寄せられています。 私たちTOKでは、お客様のプロセスや用途・膜厚に応じて、ポジ型・ネガ型それぞれの化学増幅型などのフォトレジストといった多様なフォトレジストを揃え、また、製造用装置では、数100μmにもおよぶ高均一フォトレジスト塗布を可能とする塗布装置など、材料・装置の両面から高度なソリューションをご提供しています。 現在は、永久フォトレジストによるフォトレジストそのものを構造体とする立体中空構造を実用化し、さらに、フォトレジストの複数積層による立体中空構造、めっき法による超小型部品や立体構造部品の製作についても取り組み、MEMS製造における課題・難題に対する多様なソリューションのご提供を目指しています。 |
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