東京応化は、半導体やフラットパネルディスプレイ(FPD)の製造に必要なフォトレジスト(感光性樹脂)などの化学薬品、製造装置を提供している会社です。
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材料・装置一覧:半導体パッケージ・実装分野
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材料
装置
CSP/Bump(パッケージ)用フォトレジスト
金Bump用化学増幅型ポジ型フォトレジスト
厚膜めっき用高感度高膜厚ポジ型フォトレジスト
ウェハレベルCSP再配線用厚膜ポジ型フォトレジスト
TAB/COF対応高柔軟性ポジ型フォトレジスト
シリコン貫通電極(TSV)形成用フォトレジスト
SiO
2
深堀用フォトレジスト
Viaめっき用フォトレジスト
配線板バンプ用フォトレジスト
フォトリソグラフィ関連材料
フォトレジスト剥離液
フォトレジスト現像液
リンス液
シンナー
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CSP/Bump(パッケージ)関連装置
▲CSシリーズ
CSシリーズ〔100/125/150/200/300 mmウェハ対応〕
(フォトレジストスピンコーター)
CSAシリーズ〔100/125/150/200/300 mmウェハ対応〕
(超高膜厚プロセス用ノンスピンコーター)
CSHシリーズ〔150/200/300 mmウェハ対応〕
(高速フォトレジスト現像装置)
TVC-8000シリーズ〔100/125/150/200 mmウェハ対応〕
(真空UVハードニング装置)
ウェハ薄片化プロセス関連材料・装置
▲TWMシリーズ
▲TWRシリーズ
TWMシリーズ〔150/200/300 mmウェハ対応〕(ウエハ貼付装置)
仮止材
TWRシリーズ〔150/200/300 mmウェハ対応〕(サポート板分離装置)
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