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HOME > 製品 > 材料・装置一覧：MEMS製造分野

製品

材料・装置一覧

MEMS製造分野
PAGE INDEX
材料
MEMS用フォトレジスト
  • 高アスペクトレシオ化学増幅型ネガ型永久フォトレジスト
  • 高アスペクトレシオ化学増幅型ポジ型フォトレジスト
  • 高膜厚化学増幅型ネガ型フォトレジスト
フォトリソグラフィ関連材料
  • フォトレジスト剥離液
  • フォトレジスト現像液
  • リンス液
  • シンナー
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装置
MEMS関連装置
CS-Aシリーズ

▲CSAシリーズ
  • CSシリーズ〔100／125／150／200／300 mmウェハ対応〕
    (フォトレジストスピンコーター)
  • CSAシリーズ〔100／125／150／200／300 mmウェハ対応〕
    (超高膜厚プロセス用ノンスピンコーター)
  • CSHシリーズ〔150／200／300 mmウェハ対応〕
    (高速フォトレジスト現像装置)
  • TVC-8000シリーズ〔100／125／150／200 mmウェハ対応〕
    (真空UVハードニング装置)
ウェハ薄片化プロセス関連材料・装置
  • TWMシリーズ〔150／200／300 mmウェハ対応〕（貼付装置　サポートマウンタ装置）
  • 接着剤
  • TWRシリーズ〔150／200／300 mmウェハ対応〕（剥離装置　サポートリムーバ装置）
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