• 私たちの仕事
  • 製品
  • 技術紹介
  • IR情報
  • 企業情報
  • ニュースリリース
  • HOME
HOME > 製品 > 材料・装置一覧:MEMS製造分野

製品

材料・装置一覧

PAGE INDEX
材料
MEMS用フォトレジスト
  • 高アスペクトレシオ化学増幅型ネガ型永久フォトレジスト
  • 高アスペクトレシオ化学増幅型ポジ型フォトレジスト
  • 高膜厚化学増幅型ネガ型フォトレジスト
フォトリソグラフィ関連材料
  • フォトレジスト剥離液
  • フォトレジスト現像液
  • リンス液
  • シンナー
装置
MEMS関連装置
CS-Aシリーズ

▲CSAシリーズ

  • CSシリーズ〔100/125/150/200/300 mmウェハ対応〕
    (フォトレジストスピンコーター)
  • CSAシリーズ〔100/125/150/200/300 mmウェハ対応〕
    (超高膜厚プロセス用ノンスピンコーター)
  • CSHシリーズ〔150/200/300 mmウェハ対応〕
    (高速フォトレジスト現像装置)
  • TVC-8000シリーズ〔100/125/150/200 mmウェハ対応〕
    (真空UVハードニング装置)
ウェハ薄片化プロセス関連材料・装置
  • TWMシリーズ〔150/200/300 mmウェハ対応〕(貼付装置 サポートマウンタ装置)
  • 接着剤
  • TWRシリーズ〔150/200/300 mmウェハ対応〕(剥離装置 サポートリムーバ装置)