大型ガラス基板対応液晶ディスプレイ製造用スピンコーターの発売について

事業情報

今般当社は、液晶ディスプレイの生産性向上に寄与する回転カップ(当社特許)ユニット等を搭載した、最大850×1,000mmクラスのガラス基板に対応する液晶ディスプレイ製造用スピンコーター「TR50000シリーズ」の販売を開始しました。なお、本シリーズ機を含めた液晶ディスプレイ製造用スピンコーター「TRシリーズ」の2001年3月期の売上高を80億円と見込んでおります。
現在、液晶パネルメーカーの設備投資意欲が急回復する中で、年明けより投資が本格化する次世代の基板サイズ(680×880mmクラス)対応の「TR45000シリーズ」をはじめとする「TRシリーズ」は、引き合いが大幅に増加し、受注も順調に伸張しております。

さらなる展開を図るために、「メーター角基板」時代への最終アプローチとして「TR50000シリーズ」をラインナップすることで、850×1,000mmクラス基板の生産ライン構築を望む液晶パネルメーカーの投資意欲にシームレスに対応することが可能となりました。これにより、ユーザー各社は、将来的にもジャストサイズの装置を選択でき、効率の良い投資設計が可能となります。

東京応化では、従来より「メーター角基板」時代へ向けて2000年中旬を目処に最大960×1,100mmのガラス基板に対応する「TR58000シリーズ」の開発を進めており、その開発リソースを有効活用することにより「TR50000シリーズ」の早期開発に成功いたしました。

「TRシリーズ」は、回転カップユニット等、東京応化独自の様々なノウハウが駆使されており、液晶ディスプレイ製造用スピンコーターではデファクトスタンダードとなっており、1989年の出荷開始以来約300台の納入実績を有し、国内外のユーザー各社より高い評価をいただいております。

東京応化では、フォトレジストのトップメーカーとして長年にわたって培ったノウハウを生かし、M&E(Materials & Equipments)をコンセプトに材料・装置両面からの研究開発・技術サポートを行ってまいりました。今後も、M&Eによるトータルソリューションを提供することにより、液晶ディスプレイ材料・装置のみならず半導体材料・装置につきましても積極的な事業展開を図ってまいります。

液晶ディスプレイ製造用大型ガラス基板対応スピンコーター「TR50000シリーズ」

液晶ディスプレイ製造用大型ガラス基板対応スピンコーター「TR50000シリーズ」