東京応化工業(tok)は、半導体や液晶ディスプレイの製造に必要なフォトレジストなどの化学薬品、製造装置を提供している会社です。

ナノメートルの世界

ナノメートルの世界 微細加工技術

私たちの仕事

東京応化工業(tok)の微細加工技術は、目に見えないほどの小さな
世界で、私たちに身近な多くの工業製品に生かされています。

東京応化工業(tok)は、フォトリソグラフィを使った微細加工技術をコアに、半導体、液晶ディスプレイで最先端の技術を追求しています。

スマートフォンやタブレットPC、薄型テレビ、自動車。身近にあるさまざまな工業製品は外側のデザインだけでなく、その内側も高度に日々進化しています。

私たちの暮らしをより便利に、快適に、そして、豊かなものに…そこで活用されているのが“フォトリソグラフィ”を使った微細加工技術です。

フォトリソグラフィとは?

フォトリソグラフィは、写真の原理と似た技術。光を利用して極めて微細な加工を行う技術です。

tokは、フォトリソグラフィ工程で使われるフォトレジストや高純度化学薬品といった材料と、塗布装置をはじめとする製造装置をご提供しています。

フォトリソグラフィ工程概略(半導体製造工程におけるフォトレジストの使用例)

半導体製造工程の中で、Process2からProcess11までの繰り返しが、フォトリソグラフィ工程となります。

フォトリソグラフィ工程概略(半導体製造工程におけるフォトレジストの使用例)

※半導体フォトリソグラフィ工程は、シリコンウェハの上にフォトレジストパターンを形成し、エッチング(食刻、削る)などさまざまな加工を繰り返し行います。そして、ウェハに集積回路が完成した後に、裁断(ダイシング)することにより、ICやLSIの頭脳部分となるチップができあがります。そのチップをパッケージングすることにより、ICやLSIが完成します。

微細加工技術から生まれるもの

フォトリソグラフィを活用した微細加工技術が使われているのは、形も種類もさまざまな分野にわたっています。さらに微細な分野ではナノメートルの領域にまで進歩し、私たちの暮らしを豊かにする必要不可欠な最先端の技術です。tokの微細加工技術が進化をもたらす代表的な製品をご紹介します。

微細加工技術から生まれるもの

その他こんなところにもtokの技術は生かされています。

デジタルカメラ
DVDレコーダー
テレビゲーム
腕時計
飛行機

 

微細加工技術の世界はナノメートルの領域へ

微細加工の最も進んだ半導体製造分野では、ナノメートル(nm)単位の加工精度が求められています。1nmといえば、地球の上に立てた単三形乾電池を見ているのと同じ。分子レベルの極めて細かい世界での加工技術が必要です。

ナノメートル(nm)は100万分の1ミリメートル

tokは、このようなナノメートルの世界で、未来のよりよい生活、社会の進歩・発展に貢献するため、日々、微細加工技術の進化に挑戦し続けます。

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