東京応化は、半導体やフラットパネルディスプレイ（FPD）の製造に必要なフォトレジスト（感光性樹脂）などの化学薬品、製造装置を提供している会社です。

携帯電話や薄型テレビ、パソコン、自動車。
身近にあるさまざまな工業製品は外側のデザインだけでなく、その内側も高度に日々進化しています。
私たちの暮らしをより便利に、快適に、そして、豊かなものに…そこで活用されているのが“フォトリソグラフィ”を使った微細加工技術です。

フォトリソグラフィは、写真の原理と似た技術。光を利用して極めて微細な加工を行う技術です。
TOKは、フォトリソグラフィ工程で使われるフォトレジストや高純度化学薬品といった材料と、塗布装置をはじめとする製造装置をご提供しています。

	フォトレジストと呼ばれる感光性樹脂を塗布します。
現像で形成したフォトレジストパターンを保護膜として、フォトレジストのない部分をエッチング（食刻）します。	写真の現像と同じ。現像することで露光した設計図のフォトレジストパターンを形成します。	写真を印画紙に焼き付けるようにフォトマスク（設計図）をフォトレジストに転写します。
不要になったフォトレジストを除去します。	不純物を拡散させる材料を塗布します。	拡散剤を塗布した後、高温で焼成することにより、半導体領域を形成します。
微細加工技術によって作られたウェハには、びっしりと回路がしきつめられます。	これらの工程を繰り返すことによって、さまざまな回路を形成し、集積回路を形成します。	アルミニウムや銅を形成、フォトレジストの塗布・露光・現像・エッチングなどの処理を行います。
ウェハを切断し、チップサイズにします。	切断したウェハのひとつひとつがいわゆるICチップとなります。

フォトリソグラフィを活用した微細加工技術が使われているのは、形も種類もさまざまな分野にわたっています。さらに微細な分野ではナノメートルの領域にまで進歩し、私たちの暮らしを豊かにする必要不可欠な最先端の技術です。TOKの微細加工技術が進化をもたらす代表的な製品をご紹介します。

その他こんなところにもTOKの技術は生かされています。

微細加工の最も進んだ半導体製造分野では、ナノメートル（nm）単位の加工精度が求められています。1nmといえば、地球の上に立てた単三形乾電池を見ているのと同じ。分子レベルの極めて細かい世界での加工技術が必要です。

TOKは、このようなナノメートルの世界で、未来のよりよい生活、社会の進歩・発展に貢献するため、日々、微細加工技術の進化に挑戦し続けます。